AALBORG模拟质量流量控制器AFC

AALBORG模拟质量流量控制器AFC，产品概要

AFC 模拟热式质量流量控制器

设计特点

刚性金属结构

可用流量范围从 0 到 10 sccm 到 0 到 100 slpm

大压力 1000 psig (70 bar)

0-5 Vdc 或 4-20 mA 信号

泄漏完整性 1 x 10 -9 smL/sec 氦气

±1% 满量程精度

累加器选项

电路保护

AFC 模拟质量流量控制器

AFC 型模拟质量流量控制器旨在指示流量和控制气体的设定流量。

这些单元中的每一个都包含一个先进的直管传感器以及由不锈钢制成的流道元件。命令模块的 LED 读数提供 0 到 100% 的校准。从变送器外部可以方便地进行零位和跨度调整。

操作原理

计量气体分为两条层流路径，一条通过主流管道，另一条通过毛细管传感器管。两个流道都设计为确保层流，因此它们的流速比是恒定的。

传感器管上的两个精密温度传感绕组被加热，当流动发生时，气体将热量从上游带到下游绕组。产生的温差与传感器绕组的电阻变化成正比。

惠斯通电桥设计用于监测传感器绕组上与温度相关的电阻梯度，该电阻梯度与瞬时流量成线性比例。

生成 0 至 5Vdc 或 4 至 20mA 的输出信号，指示计量气体的基于质量分子的流速。

In AFC mass flow controllers the combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 闭环控制电路连续监测质量流量输出并将其保持在设定流量。

在规定的限制范围内，流速不受温度和压力变化的影响。

AFC 质量流量控制器包括一个电磁控制阀，该阀允许将流量设置为特定型号范围内的任何所需流量。作为安全功能，阀门通常处于关闭状态，以确保在断电的情况下关闭气流。

AFC 质量流量控制器设计用于计量和控制气体流量，流量范围为 10 sccm 至 100 slpm [N2]。气体通过 1/4”、3/8” 或可选的 1/8” 压缩接头连接。这些控制器可用作台式装置或通过螺钉安装在底座上。

传感器电源端口有保险丝和极性保护。

氦气泄漏完整性

1 x 10 -9 smL/sec 大到外部环境。

质量流量系统

完整的质量流量系统包括命令模块、传感器和电缆。命令模块包含适当的电源、带有 3-1/2“ 数字 LED 读数的数字面板仪表和高精度电位器。外部 RS-232 或 RS-485 是可选的。

命令模块前面板上的开关选择 LOCAL 或 REMOTE 参考信号，模拟输出可通过方便的 9 针 D 型连接器访问。